GB/T 2596-1981
废止
YS/T 987-2014
被代替
行业标准-有色金属
YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定
YS/T 987-2014 Test method for measuring carbon containing compound in chlorosilane—Determination of methyldichlorosilane
基本信息
标准编号:
YS/T 987-2014
标准类型:
行业标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料化学分析
发布日期:
2014-10-14
实施日期:
2015-04-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
8 页
适用范围
本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法，主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。
本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.000 01%～1.00%。
研制信息
起草单位:
四川新光硅业科技有限责任公司
起草人:
敖细平、王波、黄代文、梁洪、刘畅、姚淑、荆凡、杨艳芬、银波、黄彬