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GB/T 15861-2012 现行
GB/T 15861-2012 General specification of ion beam etching system
简介
本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。
本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其他专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
通用商品信息
| 委员会 | 中国电子技术标准化研究所 |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 15861-2012 |
| CCS | 加工专用设备 |
| ICS | 电子产品生产设备 |
| 实施日期 | 2013-02-15 |
价格
$ 54
小计
$ 54
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 54