GB/T 15862-2012
现行
GB/T 15861-2012
现行
国家标准
GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范
GB/T 15861-2012 General specification of ion beam etching system
基本信息
标准编号:
GB/T 15861-2012
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
加工专用设备
国际标准分类名称:
电子产品生产设备
发布日期:
2012-11-05
实施日期:
2013-02-15
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
中国电子技术标准化研究所
页数:
11 页
适用范围
本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。
本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其他专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
起草人:
陈特超、周大良