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GB/T 31227-2014 现行
GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
简介
本标准规定了使用原子力显微镜（AFM）测量表面粗糙度的方法。
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。
其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
通用商品信息
| 委员会 | 全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 31227-2014 |
| CCS | 基础标准与通用方法 |
| ICS | 表面特征 |
| 实施日期 | 2015-04-15 |
价格
$ 33.00
小计
$ 33.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 33.00