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GB/T 20175-2006 现行
GB/T 20175-2006 Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered system as reference materials
简介
为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的，本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。 特殊多层膜系（如各种掺杂层膜系）的使用不包括在本标准内。
通用商品信息
| 委员会 | 全国微束标准化技术委员会 |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 20175-2006 |
| CCS | 电子光学与其他物理光学仪器 |
| ICS | 化学分析 |
| 实施日期 | 2006-11-01 |
价格
$ 57
小计
$ 57
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 57