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YS/T 14-2015 现行
YS/T 14-2015 Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
简介
本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100 nm的异质外延层和硅多晶层的厚度测量范围为1 μm~100 μm。
通用商品信息
| 委员会 | 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
|---|---|
| 文献类型 | 行业标准-有色金属 |
| 发布单位 | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | YS/T 14-2015 |
| CCS | 金属物理性能试验方法 |
| ICS | 金属材料试验 |
| 实施日期 | 2015-10-01 |
价格
$ 29
小计
$ 29
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 29