GB/T 3656-1983
被代替
YS/T 14-2015
现行
行业标准-有色金属
YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
YS/T 14-2015 Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
基本信息
标准编号:
YS/T 14-2015
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2015-04-30
实施日期:
2015-10-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
6 页
适用范围
本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100 nm的异质外延层和硅多晶层的厚度测量范围为1 μm~100 μm。
研制信息
起草单位:
南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人:
马林宝、杨帆、葛华、刘小青、孙燕、徐新华