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GB/T 32817-2016 现行

GB/T 32817-2016 Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS

可用格式
PDF
语言
中文版
发布日期
2016-08-29
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

简介

本标准描述了用半导体制造的微机电系统(MEMS)的总规范,规定了用于IECQCECC体系质量评定的一般规程,给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS,但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统(MicroTAS)和微能源MEMS]。

通用商品信息

委员会 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
文献类型 国家标准
发布单位 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
标准状态 现行
标准编号 GB/T 32817-2016
CCS 微电路
ICS 其他半导体分立器件
实施日期 2017-03-01
价格 $ 75
小计 $ 75
税费 $ 0.00
订单总额(含税) $ 75

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