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GB/T 26111-2010
GB/T 26111-2010 Micro-electromechanical system technology—Terms
简介
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。
本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
通用商品信息
| 委员会 | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 被代替 |
| 标准编号 | GB/T 26111-2010 |
| CCS | 微电路 |
| ICS | 集成电路、微电子学 |
| 实施日期 | 2011-10-01 |
价格
$ 98
小计
$ 98
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 98