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YS/T 983-2014
YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
简介
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。检测范围为体积分数0.1%～100%。
通用商品信息
| 委员会 | 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
|---|---|
| 文献类型 | 行业标准-有色金属 |
| 发布单位 | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 标准状态 | 废止 |
| 标准编号 | YS/T 983-2014 |
| CCS | 半金属及半导体材料分析方法 |
| ICS | 金属材料试验 |
| 实施日期 | 2015-04-01 |
价格
$ 14.00
小计
$ 14.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 14.00