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GB/T 20176-2006 现行
GB/T 20176-2006 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
简介
本标准详细说明了用标定的均匀掺杂物质（用注入硼的参考物质校准）确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。它适用于均匀掺杂硼浓度范围从1×10 16 atoms/cm 3~1×10 20 atoms/cm3。
通用商品信息
| 委员会 | 全国微束标准化技术委员会 |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 20176-2006 |
| CCS | 电子光学与其他物理光学仪器 |
| ICS | 化学分析 |
| 实施日期 | 2006-11-01 |
价格
$ 38.00
小计
$ 38.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 38.00