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T/ZJCX 0043-2024 现行
T/ZJCX 0043-2024 等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟
简介
主要技术内容:本文件规定了光伏领域管式等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟（简称石墨舟）的术语和定义、结构和分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本文件适用于等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）用石墨舟
通用商品信息
| 委员会 | 浙江省企业技术创新协会 |
|---|---|
| 文献类型 | 团体标准 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/ZJCX 0043-2024 |
| CCS | 建材 |
| ICS | 半导体材料 |
| 实施日期 | 2024-07-24 |
价格
$ 20.00
小计
$ 20.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 20.00