GB/T 11093-1989
被代替
T/ZJCX 0043-2024
现行
团体标准
T/ZJCX 0043-2024 等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟
T/ZJCX 0043-2024 Plasma-enhanced chemical vapor deposition equipment with graphite boats
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ZJCX 0043-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
建材
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2024-07-23
实施日期:
2024-07-24
归口单位:
浙江省企业技术创新协会
页数:
12 页
适用范围
主要技术内容:本文件规定了光伏领域管式等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟（简称石墨舟）的术语和定义、结构和分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本文件适用于等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）用石墨舟
研制信息
起草单位:
浙江华熔科技有限公司、合肥大恒智慧能源科技有限公司、赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司、润马光能科技（金华）有限公司、平顶山东方碳素股份有限公司、河南五星新材科技股份有限公司、浙江华照半导体材料有限公司、山西博翔汇良新材料有限公司、平顶山市博翔碳素有限公司、苏州兆恩精密仪器有限公司、宜兴市希羽陶瓷有限公司、浙江亿值旺新材料科技有限公司
起草人:
周志强、陆斌、王军、李祥、鲍宪钧、张力、何亮、蔡帅、李志恒、马二克、胡平安、林龙玉、魏延召、赵世梁、姜昌星、翟民、赵俊通、樊少璞、任帅许、翟茜、宋晓珂、张阳、卢彬、殷静