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GB/T 15862-2012 现行
GB/T 15862-2012 General specification of ion implantation equipment
简介
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。
本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。
通用商品信息
| 委员会 | 中国电子技术标准化研究所 |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 15862-2012 |
| CCS | 加工专用设备 |
| ICS | 电子产品生产设备 |
| 实施日期 | 2013-02-15 |
价格
$ 54
小计
$ 54
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 54