GB/T 15861-2012
现行
GB/T 15862-2012
现行
国家标准
GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范
GB/T 15862-2012 General specification of ion implantation equipment
基本信息
标准编号:
GB/T 15862-2012
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
加工专用设备
国际标准分类名称:
电子产品生产设备
发布日期:
2012-11-05
实施日期:
2013-02-15
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
中国电子技术标准化研究所
页数:
11 页
适用范围
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。
本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
起草人:
郭健辉、彭立波、罗宏洋
替代以下标准
引用标准
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