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T/CPIA 0059-2024 现行
T/CPIA 0059-2024 晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备
简介
本文件规定了晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备（以下简称“LPCVD设备”）的术语和定义、工作环境、技术要求、基本性能、检验方法、交付检验以及标志、包装、搬运和运输、贮存。 本文件适用于晶体硅光伏电池用管式LPCVD设备的生产及检验。其他类型LPCVD设备可参考使用。LPCVD设备可进行隧穿氧化层、本征多晶硅（Poly-Si）层、原位掺杂多晶硅（Poly-Si）层等的工艺制备。
通用商品信息
| 委员会 | 中国光伏行业协会 |
|---|---|
| 文献类型 | 团体标准 |
| 发布单位 | 中国光伏行业协会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CPIA 0059-2024 |
| ICS | 太阳能工程 |
| 实施日期 | 2024-03-15 |
价格
$ 38.00
小计
$ 38.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 38.00