GB/T 6492-1986
被代替
T/CPIA 0059-2024
现行
团体标准
T/CPIA 0059-2024 晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备
T/CPIA 0059-2024 Low-pressure chemical vapor deposition equipment for crystalline silicon photovoltaic cells
价格:
$ 38.00
基本信息
标准编号:
T/CPIA 0059-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
太阳能工程
发布日期:
2024-03-10
实施日期:
2024-03-15
发布单位/组织:
中国光伏行业协会
归口单位:
中国光伏行业协会
适用范围
本文件规定了晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备（以下简称“LPCVD设备”）的术语和定义、工作环境、技术要求、基本性能、检验方法、交付检验以及标志、包装、搬运和运输、贮存。 本文件适用于晶体硅光伏电池用管式LPCVD设备的生产及检验。其他类型LPCVD设备可参考使用。LPCVD设备可进行隧穿氧化层、本征多晶硅（Poly-Si）层、原位掺杂多晶硅（Poly-Si）层等的工艺制备。
研制信息
起草单位:
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司、无锡市检验检测认证研究院、中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、嘉兴阿特斯技术研究院有限公司、一道新能源科技股份有限公司、正泰新能科技有限公司、晶澳太阳能科技有限公司、英利能源发展有限公司、常州大学（江苏省光伏科学与工程协同创新中心）、扬州大学、国信认证无锡有限公司、宁夏国信检研科技有限公司
起草人:
罗伟斌、张勇、恽旻、吴晓丽、王赶强、孙朋涛、吴志明、王晨光、杨宝立、苏磊、李硕、章康平、甘曌、王建勃、马红娜、袁宁一、李绿洲、钦卫国、王炳楠