GB/T 4855-1984
废止
GB/T 26112-2010
现行
国家标准
GB/T 26112-2010 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则
GB/T 26112-2010 Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-mechanical parameters
基本信息
标准编号:
GB/T 26112-2010
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2011-01-10
实施日期:
2011-10-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
12 页
适用范围
本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。
研制信息
起草单位:
天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中原工学院
起草人:
胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹、景蔚宣、蒋庄德、刘冲、张文栋、赵则祥