GB/T 4298-1984
废止
GB/T 26111-2023
现行
国家标准
GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语
GB/T 26111-2023 Micro-electromechanical system technology—Terms
基本信息
标准编号:
GB/T 26111-2023
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微型组件
国际标准分类名称:
其他半导体分立器件
发布日期:
2023-05-23
实施日期:
2023-09-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
36 页
适用范围
本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
研制信息
起草单位:
中机生产力促进中心有限公司、西安知微传感技术有限公司、苏州大学、北京大学、无锡华润上华科技有限公司、中国科学院空天信息创新研究院、北京航空航天大学、上海交通大学、天津大学、北京航天控制仪器研究所、西安现代控制技术研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、北京晨晶电子有限公司、天津新智感知科技有限公司、 中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院微电子研究所、广州广电计量检测股份有限公司、南京高华科技股份有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、江苏普诺威电子股份有限公司、明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
起草人:
顾枫、宋秀敏、李根梓、孙立宁、张大成、夏长奉、夏善红、董全林、张卫平、胡晓东、刘会聪、邢朝洋、刘奎、熊斌、张永斌、张威、崔波、陈得民、王玮冰、明志茂、李晓波、SHUMINZHANG、张宾、张胜兵、杨飞、高峰
替代以下标准
采用标准
IEC 62047-1:2016