GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 47089-2026
现行
国家标准
GB/T 47089-2026 蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法
GB/T 47089-2026 Test method for determining geometrical parameters of patterns on patterned sapphire substrate
价格:
$ 36.00
基本信息
标准编号:
GB/T 47089-2026
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2026-01-28
实施日期:
2026-08-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
16 页
适用范围
本文件描述了蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法。
本文件适用于蓝宝石图形化衬底表面单个图形和图形阵列几何参数的测定。
研制信息
起草单位:
广东中图半导体科技股份有限公司、徐州美兴光电科技有限公司、京东方华灿光电股份有限公司、天通银厦新材料有限公司、松山湖材料实验室、南京同溧晶体材料研究院有限公司
起草人:
张能、米波、肖桂明、朱晶、王子荣、朱广敏、康凯、鲁雅荣、王新强、徐军、袁冶