GB/T 11093-1989
被代替
GB/T 43662-2024
现行
国家标准
GB/T 43662-2024 蓝宝石图形化衬底片
GB/T 43662-2024 Patterned sapphire substrate
基本信息
标准编号:
GB/T 43662-2024
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
化合物半导体材料
国际标准分类名称:
半导体材料
发布日期:
2024-03-15
实施日期:
2024-10-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
24 页
适用范围
本文件规定了蓝宝石图形化衬底片(以下简称“衬底”)的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于蓝宝石图形化衬底片的研发、生产、测试、检验及性能质量的评价。
研制信息
起草单位:
广东中图半导体科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、华灿光电(浙江)有限公司、黄山博蓝特半导体科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、云南蓝晶科技有限公司、南京理工宇龙新材料科技股份有限公司、通辽精工蓝宝石有限公司、苏州恒嘉晶体材料有限公司
起草人:
张能、贺东江、张小琼、李素青、肖桂明、王子荣、朱广敏、康凯、刘建哲、丁晓民、王新强、何永杰、戴生伢、闫殿军、徐永亮
引用标准
GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级
GB/T 8758-1988 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法
GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法
GB/T 14264-1993 半导体材料术语
GB/T 14264-2009 半导体材料术语
GB/T 14264-2024 半导体材料术语
GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
GB/T 14140-2025 半导体晶片直径测试方法