GB/T 4855-1984
废止
GB/T 38341-2019
现行
国家标准
GB/T 38341-2019 微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
GB/T 38341-2019 Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments
基本信息
标准编号:
GB/T 38341-2019
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2019-12-31
实施日期:
2020-04-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
19 页
适用范围
本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。
研制信息
起草单位:
东南大学、华为技术有限公司、佛山市川东磁电股份有限公司、中机生产力促进中心、浙江博亚精密机械有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、无锡华润上华科技有限公司、北京大学、中北大学、中国科学院电子学研究所、北京必创科技股份有限公司
起草人:
王磊、黄创君、于振毅、陆学贵、朱悦、夏长奉、黄庆安、龙克文、石云波、李海斌、肖昆辉、郑凤杰、张威、程逸轩、马书嫏、陈得民