GB/T 4855-1984
废止
GB/T 17866-1999
现行
国家标准
GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
GB/T 17866-1999 Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysis of mask defect inspection systems
基本信息
标准编号:
GB/T 17866-1999
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半导体集成电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
1999-09-13
实施日期:
2000-06-01
发布单位/组织:
国家质量技术监督局
归口单位:
由SEMI中国标准化技术委员会
页数:
16 页
研制信息
起草单位:
中国科学院微电子中心
起草人:
陈宝钦、陈森锦、廖温初、刘明
引用标准
GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
SJ/T 10584-1994
采用标准
SEMI P23:1993