GB/T 4855-1984
废止
GB/T 28277-2012
现行
国家标准
GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法
GB/T 28277-2012 Silicon-based MEMS fabrication technology—Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area
基本信息
标准编号:
GB/T 28277-2012
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2012-05-11
实施日期:
2012-12-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
19 页
适用范围
本标准规定了硅基MEMS加工过程中所涉及的微小键合区域键合强度检测的要求和试验方法。
本标准适用于采用微电子工艺及相关微细加工技术制造的微小键合区的剪切和拉压强度测试。
研制信息
起草单位:
北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、中国电子科技集团第四十九研究所
起草人:
张大成、王玮、刘伟、杨芳、姜森林、崔波、熊斌、田雷