YS/T 987-2021 现行行业标准-有色金属

YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定气相色谱质谱联用法

YS/T 987-2021 The determination of carbon content in chlorosilanes by gas chromatography-mass spectrometry

发布日期: 2021-12-02 实施日期: 2022-04-01 中国正版标准查询、采购、翻译等其他相关服务，请联系我们

标准编号: YS/T 987-2021

标准类型: 行业标准

标准状态: 现行

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中国标准分类名称: 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类名称: 金属材料化学分析

发布日期: 2021-12-02

实施日期: 2022-04-01

发布单位/组织: 工业和信息化部

本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围（质量分数）为0.000 010%～0.10%。