GB/T 12992-1991
现行
GB/T 36646-2018
现行
国家标准
GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
GB/T 36646-2018 Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy
基本信息
标准编号:
GB/T 36646-2018
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子工业生产设备
国际标准分类名称:
电子电信设备用机电元件
发布日期:
2018-09-17
实施日期:
2019-01-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
17 页
适用范围
本标准规定了制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备(以下简称“HVPE设备”）的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。
本标准适用于制备直径50.8 mm~152.4 mm氮化物半导体材料的HVPE设备。
研制信息
起草单位:
东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人:
刘鹏、孙永健、丁晓民、冯亚彬、王健辉
引用标准
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