GB/T 4855-1984
废止
GB/T 32814-2016
现行
国家标准
GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
GB/T 32814-2016 Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
基本信息
标准编号:
GB/T 32814-2016
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2016-08-29
实施日期:
2017-03-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
14 页
适用范围
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。
本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
研制信息
起草单位:
西北工业大学、中机生产力促进中心
起草人:
苑伟政、谢建兵、李海斌、乔大勇、马志波、常洪龙、刘伟