GB/T 3250-1982
被代替
GB/T 29658-2013
现行
国家标准
GB/T 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
GB/T 29658-2013 High-purity sputtering aluminium and aluminium alloy target used in electronic film
基本信息
标准编号:
GB/T 29658-2013
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
轻金属及其合金
国际标准分类名称:
铝和铝合金
发布日期:
2013-09-06
实施日期:
2014-05-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)
页数:
9 页
适用范围
本标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、存贮、订货单（或合同）等内容。
本标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材（以下简称铝靶）。
研制信息
起草单位:
有研亿金新材料股份有限公司
起草人:
万小勇、罗俊锋、廖赞、尚再艳、杨华、朱晓光、孙秀霖、何金江、熊晓东、王兴权、王学泽、钱红兵、喻洁、刘杰、洪涛、努力古、宋玉萍
引用标准
GJB 1580A
JB/T 4734
GB/T 1804-2000 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T 6394-2002 金属平均晶粒度测定法
GB/T 6394-2017 金属平均晶粒度测定方法
GB/T 14265-1993 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
GB/T 14265-2017 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
GB/T 15823-1995 氦泄漏检验
GB/T 15823-2009 无损检测 氦泄漏检测方法
GB/T 20975.25-2008 铝及铝合金化学分析方法 第25部分：电感耦合等离子体原子发射光谱法
GB/T 20975.25-2020 铝及铝合金化学分析方法 第25部分：元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T 871-2013 高纯铝化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
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