GB/T 16598-1996
被代替
YS/T 893-2013
现行
行业标准-有色金属
YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
YS/T 893-2013 High-purity sputtering titanium target used in electronic film
基本信息
标准编号:
YS/T 893-2013
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
稀有轻金属及其合金
国际标准分类名称:
钛产品
发布日期:
2013-10-17
实施日期:
2014-03-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)
页数:
8 页
适用范围
本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。
研制信息
起草单位:
有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司
起草人:
何金江、董亭义、袁海军、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺昕、钱红兵、周辰、刘丹、陆灵芝、王学泽、熊晓东
引用标准
GJB 1580A
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