GB/T 2054-2005
被代替
YS/T 936-2013
现行
行业标准-有色金属
YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
YS/T 936-2013 Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device
基本信息
标准编号:
YS/T 936-2013
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
重金属及其合金
国际标准分类名称:
镍和铬产品
发布日期:
2013-10-17
实施日期:
2014-03-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)
页数:
15 页
适用范围
本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同或订货单内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。
研制信息
起草单位:
有研亿金新材料股份有限公司
起草人:
董亭义、何金江、刘红宾、张涛、姚力军、王学泽、向磊、徐学礼、朱晓光、丁照崇、吕超、雷继峰、熊晓东、张殿凯、李娜