GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 42271-2022
现行
国家标准
GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法
GB/T 42271-2022 Test method for resistivity of semi-insulating monocrystalline silicon carbide by contactless measurement
基本信息
标准编号:
GB/T 42271-2022
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2022-12-30
实施日期:
2023-04-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
7 页
适用范围
本文件描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法。
本文件适用于测量电阻率范围为 1×10 5 Ω·cm～1×1012Ω·cm的半绝缘碳化硅单晶片。
研制信息
起草单位:
北京天科合达半导体股份有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、安徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人:
彭同华、佘宗静、王大军、张贺、李素青、王波、杨建、袁松、刘立娜