GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 30857-2014
现行
国家标准
GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
GB/T 30857-2014 Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
基本信息
标准编号:
GB/T 30857-2014
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2014-07-24
实施日期:
2015-04-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
5 页
适用范围
本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。
本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。
研制信息
起草单位:
协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司
起草人:
魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮