GB/T 3163-1993
被代替
T/CASME 134-2022
现行
团体标准
T/CASME 134-2022 原子层沉积粉体包覆设备
T/CASME 134-2022 Atomic Layer Deposition (ALD) Powder Encapsulation Equipment
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CASME 134-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
机械
国际标准分类名称:
真空技术
发布日期:
2022-11-24
实施日期:
2022-12-01
归口单位:
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于原子层沉积粉体包覆设备的制造; 主要技术内容:本文件规定了原子层沉积粉体包覆设备的型号编制、组成与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存
研制信息
起草单位:
柔电（武汉）科技有限公司、宁波柔创纳米科技有限公司、江汉大学、深圳市新嘉拓自动化技术有限公司、中国中小商业企业协会
起草人:
解明、胡进、杨斌、肖翌、熊红波、张宣宣、刘志宏、李煜宇、郭萍梅、周研、孙东岳、母良睿