GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 34504-2017
被代替
国家标准
GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
GB/T 34504-2017 Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
基本信息
标准编号:
GB/T 34504-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2017-10-14
实施日期:
2018-05-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
16 页
适用范围
本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5 nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)～92(U)号（除去铝和氧)，且面密度在109 atoms/cm2～1015 atoms/cm2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。
研制信息
起草单位:
天通控股股份有限公司
起草人:
康森、宋岩岩、邵峰、沈瞿欢、於震杰