GB/T 15678-1995
被代替
YS/T 1024-2015
现行
行业标准-有色金属
YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材
YS/T 1024-2015 Tantalum sputtering targets
基本信息
标准编号:
YS/T 1024-2015
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
稀有高熔点金属及其合金
国际标准分类名称:
其他有色金属产品
发布日期:
2015-04-30
实施日期:
2015-10-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
9 页
适用范围
本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材(以下简称钽靶材)。
研制信息
起草单位:
宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、西安方科新材料科技有限公司
起草人:
钟景明、李桂鹏、汪凯、李兆博、姚力军、熊晓东、王莉、宿康宁、王小青、杜铁路
引用标准
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