GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 32188-2015
现行
国家标准
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
GB/T 32188-2015 Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
基本信息
标准编号:
GB/T 32188-2015
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2015-12-10
实施日期:
2016-11-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
8 页
适用范围
本标准规定了利用双晶X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。 本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。
研制信息
起草单位:
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司
起草人:
邱永鑫、任国强、刘争晖、曾雄辉、王建峰、陈小龙、王文军、郑红军、徐科、赵松彬