GB/T 15678-1995
被代替
YS/T 937-2013
现行
行业标准-有色金属
YS/T 937-2013 镍铂靶材
YS/T 937-2013 Nickel-platinum target
基本信息
标准编号:
YS/T 937-2013
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
贵金属及其合金
国际标准分类名称:
其他有色金属产品
发布日期:
2013-10-17
实施日期:
2014-03-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)
页数:
20 页
适用范围
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
研制信息
起草单位:
有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院
起草人:
朱晓光、顾新福、杨永刚、向磊、何金江、郭力山、吕保国、姚力军、王学泽、李勇军、尚再艳、孙秀霖、陈彩霞、张丽、李娜、刘红宾、夏乾坤、蒋宇辉
引用标准
GJB 1580A
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GB/T 1031-2009 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
GB/T 6394-2002 金属平均晶粒度测定法
GB/T 6394-2017 金属平均晶粒度测定方法
GB/T 14265-1993 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
GB/T 14265-2017 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
GB/T 15077-1994 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GB/T 15077-2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
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