DZ/T 0101.12-1994
现行
T/ZSA 224-2024
现行
团体标准
T/ZSA 224-2024 半导体设备前端模块
T/ZSA 224-2024 Semiconductor equipment front-end module
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ZSA 224-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子元器件与信息技术
国际标准分类名称:
-
发布日期:
2024-04-12
实施日期:
2024-04-13
归口单位:
中关村标准化协会
页数:
14 页
适用范围
本文件规定了半导体设备前端模块的结构及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本文件适用于100 mm、125 mm、150 mm、200 mm、300 mm晶圆的半导体设备前端模块。其他规格晶圆的半导体设备前端模块可参照执行。 本文件规定了半导体设备前端模块的结构及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本文件适用于100 mm、125 mm、150 mm、200 mm、300 mm晶圆的半导体设备前端模块。其他规格晶圆的半导体设备前端模块可参照执行
研制信息
起草单位:
北京锐洁机器人科技有限公司、天津锐洁芯导机器人有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、北京燕东微电子科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、华海清科（北京）科技有限公司、SMC（中国）有限公司
起草人:
刘冬梅、王强、安国栋、李彤、鲁翠、王勇、赵海洋、李剑锋、刘祎晨、刘福生、周磊