GB 4962-1985
被代替
GB/T 17874-2021
被代替
国家标准
GB/T 17874-2021 电子特气 三氯化硼
GB/T 17874-2021 Electronic specialty gas—Boron trichloride
基本信息
标准编号:
GB/T 17874-2021
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2021-10-11
实施日期:
2022-05-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
16 页
适用范围
本文件规定了电子级三氯化硼的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以粗制三氯化硼为原料提纯制得的电子级三氯化硼。
研制信息
起草单位:
大连保税区科利德化工科技开发有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、和立气体(上海)有限公司、太和气体(荆州)有限公司、广东华特气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、福建久策气体股份有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司
起草人:
施旖旎、赵趫、孙福楠、梁永强、梁成科、阳辉、傅铸红、陈艳珊、丁高松、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、廖恒易、刘健、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、史隽涛、周礼誉、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、辛伶、何波、黄小强、黄辉、刘扬涛、宫兵、易达文、李阳、高静、李威、赵帅德、余民、周鹏云、沈翠平
替代以下标准
被以下标准替代
引用标准
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