GB/T 3656-1983
被代替
YS/T 26-2016
现行
行业标准-有色金属
YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法
YS/T 26-2016 Test methods for edge contour of silicon wafers
基本信息
标准编号:
YS/T 26-2016
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2016-07-11
实施日期:
2017-01-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
12 页
适用范围
本标准规定了硅片边缘轮廓（包含切口)的检验方法。
本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓（包含切口)，砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。
研制信息
起草单位:
洛阳单晶硅集团有限责任公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司
起草人:
田素霞、李战国、苗利刚、焦二强、安瑞阳、邵成波、王文卫