GB/T 4855-1984
废止
GB/T 16527-1996
现行
国家标准
GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
GB/T 16527-1996 Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
基本信息
标准编号:
GB/T 16527-1996
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子设备与专用材料、零件、结构件
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
1996-09-09
实施日期:
1997-05-01
发布单位/组织:
国家技术监督局
归口单位:
电子工业部标准化研究所
页数:
12 页
研制信息
起草单位:
长沙韶光微电子总公司、电子工业部标准化研究所
起草人:
谈仁良、吴保华、王亦林、韩艳芬
引用标准
GB 191-90
GB 2828-87
GB 2829-87
GB 7238-87
GB 7239-87
GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板
GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜
SJ/T 10584-94
采用标准
SEMI P3-90