GB/T 15678-1995
被代替
GB/T 26307-2025
现行
国家标准
GB/T 26307-2025 银靶材
GB/T 26307-2025 Silver target
基本信息
标准编号:
GB/T 26307-2025
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
贵金属及其合金
国际标准分类名称:
其他有色金属产品
发布日期:
2025-08-29
实施日期:
2026-03-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
12 页
适用范围
本文件规定了银靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单。
本文件适用于半导体器件用的各类银溅射靶材。其他用途的银靶材参照使用。
研制信息
起草单位:
有研亿金新材料有限公司、金川集团股份有限公司、云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司、紫金矿业集团黄金冶炼有限公司、有研亿金新材料(山东)有限公司、有研资源环境技术研究院(北京)有限公司
起草人:
宋琦、何金江、万小勇、杨晓艳、闻明、吴卫煌、朱孜毅、袁学韬、张亚东、尚再艳、王传军、应宗波、张晓娜、徐国进、辛柏朴、刘丹
替代以下标准
引用标准
GB/T 1031-1995 表面粗糙度 参数及其数值
GB/T 1031-2009 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
GB/T 4135-2002 银
GB/T 4135-2016 银锭
GB/T 6394-2002 金属平均晶粒度测定法
GB/T 6394-2017 金属平均晶粒度测定方法
GB/T 8651-2002 金属板材超声板波探伤方法
GB/T 8651-2015 金属板材超声板波探伤方法
GB/T 11067.1-1989 银化学分析方法 氯化银沉淀-火焰原子吸收光谱法测定银量
GB/T 11067.1-2006 银化学分析方法 银量的测定 氯化银沉淀-火焰原子 吸收光谱法
GB/T 11067.2-1989 银化学分析方法 火焰原子吸收光谱法测定铜和金量
GB/T 11067.2-2006 银化学分析方法 铜量的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 11067.3-1989 银化学分析方法 火焰原子吸收光谱法测定铁、铅和铋量
GB/T 11067.3-2006 银化学分析方法 硒和碲量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
GB/T 11067.4-1989 银化学分析方法 2-(5-溴-2-吡啶偶氮)-5-二乙氨基苯酚分光光度法测定锑量
GB/T 11067.4-2006 银化学分析方法 锑量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
GB/T 11067.5-1989 银化学分析方法 燃烧-电导法测定碳量
GB/T 11067.5-2006 银化学分析方法 铅和铋量的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 11067.6-1989 银化学分析方法 燃烧-碘酸钾滴定法测定硫量
GB/T 11067.6-2006 银化学分析方法 铁量的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 11067.7-1989 银化学分析方法 发射光谱法测定铜、铋、铁、铅、金和锑量
GB/T 11067.7-2024 银化学分析方法 第7部分：金、钯量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
GB/T 15077-1994 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GB/T 15077-2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GB/T 36590-2018 高纯银化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
GB/T 39810-2021 高纯银锭
YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法