GB/T 3163-1993
被代替
GB/T 25755-2010
现行
国家标准
GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
GB/T 25755-2010 Vacuum technology—Sputter-ion pumps—Measurement of performance characteristics
基本信息
标准编号:
GB/T 25755-2010
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
真空技术与设备
国际标准分类名称:
真空技术
发布日期:
2010-12-23
实施日期:
2011-10-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
页数:
11 页
适用范围
本标准规定了溅射离子泵（以下简称离子泵）性能参数的测量方法。
本标准适用于名义体积流率大于10 L/s的离子泵。
本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。
注： 本标准保证了离子泵性能参数的测量在相同的条件下按相同的方法进行。由此做到由各制造厂家或各实验室所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。
研制信息
起草单位:
北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所
起草人:
邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影