GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 42263-2022
现行
国家标准
GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
GB/T 42263-2022 Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
基本信息
标准编号:
GB/T 42263-2022
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2022-12-30
实施日期:
2023-04-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
6 页
适用范围
本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020 cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014 cm-3。注： 硅单晶中氮含量以每立方厘米中的原子数计。
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人:
马农农、何友琴、李素青、陈潇、刘立娜、何烜坤