DZ/T 0101.12-1994
现行
T/ZSA 231-2024
现行
团体标准
T/ZSA 231-2024 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
T/ZSA 231-2024 The testing method for half-width of X-ray double-crystal swing curve of gallium oxide monocrystalline wafers
价格:
$ 29.00
基本信息
标准编号:
T/ZSA 231-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
1970-01-01
实施日期:
1970-01-01
发布单位/组织:
中关村标准化协会
适用范围
本文件规定了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。 本文件适用于熔体法及其他方法生长的和定向切割晶锭制备的氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。 本文件适用于β相氧化镓单晶。