GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 39144-2020
现行
国家标准
GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法
GB/T 39144-2020 Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
基本信息
标准编号:
GB/T 39144-2020
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2020-10-11
实施日期:
2021-09-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
5 页
适用范围
本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。
本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析，测定范围为不小于5×1014 cm-3。
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司
起草人:
马农农、何友琴、陈潇、刘立娜、何烜坤、杨素心、闫方亮、杨丽霞、颜建锋、倪青青