GB/T 3656-1983
被代替
GB/T 30868-2025
现行
国家标准
GB/T 30868-2025 碳化硅单晶片微管密度测试方法
GB/T 30868-2025 Test method for micropipe density of monocrystalline silicon carbide
基本信息
标准编号:
GB/T 30868-2025
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
金属材料试验
发布日期:
2025-08-01
实施日期:
2026-02-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
页数:
12 页
适用范围
本文件描述了碳化硅单晶片的微管密度的测试方法，包括化学腐蚀法和偏振光法。
本文件适用于碳化硅单晶片微管密度的测试。
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达半导体股份有限公司、山东天岳先进科技股份有限公司、广东天域半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、安徽长飞先进半导体股份有限公司、浙江晶瑞电子材料有限公司、南京盛鑫半导体材料有限公司、湖州东尼半导体科技有限公司、长飞光纤光缆股份有限公司、浙江材孜科技有限公司、连科半导体有限公司、中电晶华(天津)半导体材料有限公司、上海优睿谱半导体设备有限公司、河南中宜创芯发展有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、宁波合盛新材料有限公司、厦门中芯晶研半导体有限公司
起草人:
姚康、许蓉、佘宗静、何烜坤、王英明、张红岩、齐菲、丁雄杰、李素青、刘小平、欧阳鹏根、潘文宾、晏阳、王志勇、王明华、胡润光、李明达、张超越、孙毅、赵丽丽、赵新田、陈基生