GB/T 15678-1995
被代替
YS/T 1025-2015
现行
行业标准-有色金属
YS/T 1025-2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
YS/T 1025-2015 High-purity tungsten and tungsten alloy sputtering target used in electronic film
基本信息
标准编号:
YS/T 1025-2015
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
稀有高熔点金属及其合金
国际标准分类名称:
其他有色金属产品
发布日期:
2015-04-30
实施日期:
2015-10-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
10 页
适用范围
本标准规定了电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、订货单(或合同)等内容。
本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材以下简称高纯钨及钨合金靶。
研制信息
起草单位:
宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司、株洲凯特实业有限公司、西安方科新材料科技有限公司
起草人:
姚力军、王学泽、丁照崇、张涛、扶元初、袁海军、郑文翔、宋佳、苏国平、钱红兵、袁洁、王兴权、张玉利、王越、杜铁路
引用标准
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