GB/T 20252-2006
被代替
YS/T 1053-2015
现行
行业标准-有色金属
YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
YS/T 1053-2015 High-purity cobalt sputtering target used in electronic film
基本信息
标准编号:
YS/T 1053-2015
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
重金属及其合金
国际标准分类名称:
镉和钴产品
发布日期:
2015-04-30
实施日期:
2015-10-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
11 页
适用范围
本标准规定了电子薄膜用高纯钴靶材(以下简称高纯钴靶)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
研制信息
起草单位:
宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司
起草人:
王学泽、李勇军、郑文翔、罗俊锋、袁海军、熊晓东、陈勇军、刘丹、陆彤、袁洁、张涛
引用标准
GB/T 1804-2000 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T 2828.1-2003 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 6394-2002 金属平均晶粒度测定法
GB/T 6394-2017 金属平均晶粒度测定方法
GB/T 8651-2002 金属板材超声板波探伤方法
GB/T 8651-2015 金属板材超声板波探伤方法
GB/T 14265-1993 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
GB/T 14265-2017 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T 1011-2014 高纯钴化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 1011-2025 高纯钴化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法