DZ/T 0101.12-1994
现行
T/ICMTIA 4.2-2020
现行
团体标准
T/ICMTIA 4.2-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类
T/ICMTIA 4.2-2020 Fluorinated Ar photoresist monomer for integrated circuits Part 2: Solid methyl acrylate type
价格:
$ 43.00
基本信息
标准编号:
T/ICMTIA 4.2-2020
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
1970-01-01
实施日期:
1970-01-01
发布单位/组织:
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分 固体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。 本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。